近日，國家標(biāo)準(zhǔn)委發(fā)布了GB/T 25915.2-2021《潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測》，文件將于2022年3月22日實(shí)施。

文件對(duì)潔凈室監(jiān)測計(jì)劃、風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估以及懸浮粒子數(shù)、壓差、風(fēng)速等參數(shù)的監(jiān)測給出了指導(dǎo)，此外，文件還給出了對(duì)壓差和懸浮粒子制定預(yù)警值（警戒限）和干預(yù)值（行動(dòng)限）時(shí)的考慮和方法。

全文如下：

1     范圍

本文件規(guī)定了監(jiān)測計(jì)劃的基本要求。這個(gè)監(jiān)測計(jì)劃依據(jù)所測量的空氣中懸浮粒子濃度或?qū)ζ溆杏绊懙钠渌麉?shù),監(jiān)測潔凈室或潔凈區(qū)按粒子濃度劃分的空氣潔凈度方面的性能。

本文件適用于粒徑0.1μm~5μm 粒子濃度的監(jiān)測。

本文件不適用于振動(dòng)或工程系統(tǒng)一般維護(hù)等監(jiān)測。超細(xì)粒子(小于0.1μm 的粒子)濃度的監(jiān)測,將在另一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定。

2     規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中,注日期的引用文   件,僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

GB/T25915.1—2021     潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境     第1 部分:按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

(ISO14644-1:2015,MOD)

注:GB/T25915.1—2021 被引用的內(nèi)容與ISO14644-1:2015 被引用的內(nèi)容沒有技術(shù)上的差異。

3     術(shù)語和定義

GB/T25915.1—2021界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件。

3.1   檢測       test

為確定設(shè)施或其某個(gè)組成部分的性能,按規(guī)定方法實(shí)施的程序。

3.2   監(jiān)測       monitoring

為證明設(shè)施性能,按規(guī)定的方法和計(jì)劃進(jìn)行的測量。

注1:監(jiān)測可以是連續(xù)的、間歇的或定期的,如是定期的,要規(guī)定頻度。注2:監(jiān)測信息可用于動(dòng)態(tài)趨勢的觀察,提供過程支撐。

3.3   干預(yù)值    actionlevel

用戶設(shè)定的參數(shù)值,當(dāng)超過該值時(shí),需要立即干預(yù),查明原因并采取糾正措施。

3.4   預(yù)警值    alertlevel

用戶設(shè)定的參數(shù)值,偏離正常條件時(shí)可給出早期預(yù)警。當(dāng)超過該值時(shí),宜加強(qiáng)關(guān)注或采取糾正措施。

4     監(jiān)測計(jì)劃的制定、執(zhí)行及持續(xù)改進(jìn)

4.1   說明

為了確保潔凈室或潔凈區(qū)性能良好、粒子濃度達(dá)到控制要求并有良好的空氣潔凈度,應(yīng)制定、執(zhí)行   并持續(xù)改進(jìn)監(jiān)測計(jì)劃。

監(jiān)測計(jì)劃應(yīng)考慮所要求的空氣潔凈度水平、關(guān)鍵位置以及對(duì)潔凈室和潔凈區(qū)設(shè)施性能有影響的因素。在制定、執(zhí)行并持續(xù)改進(jìn)監(jiān)測計(jì)劃時(shí),應(yīng)包括下列步驟:

使用適當(dāng)?shù)娘L(fēng)險(xiǎn)評(píng)定方法來了解、評(píng)估、記錄不良污染事件的風(fēng)險(xiǎn);

制定書面監(jiān)測計(jì)劃;

審核并批準(zhǔn)監(jiān)測計(jì)劃;

進(jìn)行監(jiān)測以執(zhí)行計(jì)劃;

對(duì)監(jiān)測活動(dòng)中獲取的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析,需要時(shí)進(jìn)行趨勢分析并報(bào)告潔凈室和潔凈區(qū)的性能;

實(shí)施并記錄采取的措施或糾正措施;

定期審核監(jiān)測計(jì)劃。

按監(jiān)測計(jì)劃測出的空氣中粒子濃度,可能高于靜態(tài)測試的濃度。受在場人員數(shù)量、風(fēng)量、通風(fēng)效果、儀器或機(jī)器運(yùn)行、相鄰空間活動(dòng)等因素的影響,測得的數(shù)值可能起伏較大。

對(duì)工藝本身就產(chǎn)生粒子、且這些粒子對(duì)工藝或產(chǎn)品不形成威脅的,可不監(jiān)測動(dòng)態(tài)的粒子濃度,而進(jìn)行定期靜態(tài)分級(jí)測試或模擬運(yùn)行情況的動(dòng)態(tài)分級(jí)測試。其他影響性能和潔凈度的參數(shù)仍可進(jìn)行監(jiān)測。

4.2   風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估

風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估是識(shí)別出危險(xiǎn)并對(duì)接觸危險(xiǎn)的風(fēng)險(xiǎn)進(jìn)行分析和評(píng)估的系統(tǒng)性過程。風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估應(yīng)實(shí)現(xiàn)以下目標(biāo):

確定可能影響潔凈室或潔凈區(qū)保持其空氣潔凈度能力的因素(該潔凈度是按粒子濃度劃分的),從而制定出監(jiān)測計(jì)劃;

確定可證明性能的監(jiān)測要求。

風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估考慮事項(xiàng)見附錄 A。

4.3   監(jiān)測計(jì)劃

4.3.1       監(jiān)測計(jì)劃應(yīng)考慮風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估的結(jié)果。

制定監(jiān)測計(jì)劃時(shí),應(yīng)至少包括4.3.2~4.3.13中所述的要素。

4.3.2       列出所有要監(jiān)測的參數(shù)并證明其合理性,包括可能影響空氣中粒子濃度的參數(shù)。

4.3.3       說明測量方法并證明其合理性,對(duì)制定監(jiān)測計(jì)劃需要考慮的事項(xiàng)見附錄 A。

4.3.4       監(jiān)測儀器的準(zhǔn)確度、維護(hù)、校準(zhǔn)。

4.3.5       標(biāo)識(shí)所選監(jiān)測位置并說明合理性。監(jiān)測位置應(yīng)用三維坐標(biāo)描述。

4.3.6      對(duì)監(jiān)測合格的標(biāo)準(zhǔn)或限值的識(shí)別與其合理性,包括設(shè)定單個(gè)報(bào)警值,或設(shè)定預(yù)警值、干預(yù)值兩個(gè)報(bào)警值,但至少要設(shè)定干預(yù)值。設(shè)定預(yù)警值可給出性能偏離的早期預(yù)警。預(yù)警值、干預(yù)值的設(shè)置見附錄B。

4.3.7       數(shù)據(jù)超出規(guī)定限值的應(yīng)對(duì)措施的技術(shù)要求。

4.3.8       按 GB/T25915.1—2021中5.1的規(guī)定定期劃分潔凈室或潔凈區(qū)空氣潔凈度(按粒子濃度)的需要與頻度。

4.3.9       數(shù)據(jù)記錄格式。

4.3.10     數(shù)據(jù)趨勢分析或其他分析所用方法,包括統(tǒng)計(jì)方法。

4.3.11     對(duì)報(bào)告的要求。

4.3.12     對(duì)記錄留存的規(guī)定和所用介質(zhì)。

4.3.13     審核監(jiān)測計(jì)劃的頻度。

注:對(duì)監(jiān)測計(jì)劃要定期審核,并依據(jù)從中獲取的潔凈室或潔凈區(qū)的情況,修改監(jiān)測計(jì)劃。

4.4   校準(zhǔn)

監(jiān)測所用儀器應(yīng)滿足監(jiān)測工作要求,應(yīng)具備有效的校準(zhǔn)證書,校準(zhǔn)頻度和方法應(yīng)滿足現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)要求. 

粒子計(jì)數(shù)器的校準(zhǔn)頻度和方法如 ISO21501-4的規(guī)定。

注:粒子計(jì)數(shù)器無法全部按ISO21501-4的要求進(jìn)行校準(zhǔn)時(shí),在監(jiān)測計(jì)劃中記錄將該計(jì)數(shù)器用于監(jiān)測的決定。

4.5   審核與批準(zhǔn)

監(jiān)測計(jì)劃應(yīng)經(jīng)審核與批準(zhǔn)。

4.6   監(jiān)測過程中出現(xiàn)偏差的應(yīng)對(duì)措施

如監(jiān)測結(jié)果超過規(guī)定限值,應(yīng)進(jìn)行調(diào)查以找出原因。需要時(shí)采取補(bǔ)救措施。

如補(bǔ)救措施對(duì)設(shè)施和(或)其運(yùn)行有較大改動(dòng),應(yīng)按 GB/T25915.1—2021 進(jìn)行分級(jí)測試。且監(jiān)測計(jì)劃也應(yīng)根據(jù)設(shè)施和(或)其運(yùn)行的改動(dòng)而重新進(jìn)行審核。

當(dāng)分級(jí)級(jí)別達(dá)到要求時(shí),可恢復(fù)監(jiān)測。

5     按粒子濃度定期劃分空氣潔凈度

每年應(yīng)按 GB/T25915.1—2021進(jìn)行級(jí)別檢測。但這個(gè)頻度可根據(jù)風(fēng)險(xiǎn)分析、監(jiān)測情況、數(shù)據(jù)一直符合監(jiān)測計(jì)劃中規(guī)定的合格限值或水平等予以延長。

注:GB/T25915.3規(guī)定了壓差、氣流等潔凈室其他性能參數(shù)的測試要求。

附    錄   A (資料性) 制定監(jiān)測計(jì)劃考慮事項(xiàng)

A.1  風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估

A.1.1       選擇合適的風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估方法

可采用一系列工具(單獨(dú)或組合使用)進(jìn)行風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估,包括但不限于:

危害分析臨界控制點(diǎn)(HACCP);

故障模式與影響分析(FMEA/FMECA);

風(fēng)險(xiǎn)預(yù)分析(PHA);

事故樹分析法(ETA);

危險(xiǎn)與可操作性分析(HAZOP)。

A.1.2       要監(jiān)測的性能與運(yùn)行條件的定義

相關(guān)因素可能有:

了解潔凈室或潔凈區(qū)關(guān)鍵位置上,或在潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)對(duì)總的空氣潔凈度有代表性的位置上,污染源及其對(duì)工作的影響;

諸如壓差、氣流均勻性、風(fēng)量、通風(fēng)效果、溫度、相對(duì)濕度等可能影響潔凈度水平的設(shè)施指標(biāo);

正常運(yùn)行模式與節(jié)能運(yùn)行模式;

靜態(tài)與動(dòng)態(tài);

如換班等占用狀態(tài)和活動(dòng)強(qiáng)度。

A.2  一般事項(xiàng)

A.2.1       A.2.2~A.2.21中說明的一般事項(xiàng),宜在制定計(jì)劃時(shí)考慮。

A.2.2       包括人工測試和(或)自動(dòng)監(jiān)測在內(nèi)的測試技術(shù)。

A.2.3       測量系統(tǒng)的分辨率、準(zhǔn)確度、校準(zhǔn)要求,其中包括使用空氣粒子計(jì)數(shù)器時(shí)采集系統(tǒng)的效率和限制條件。

A.2.4       監(jiān)測系統(tǒng)組成部分的位置,其中包括維護(hù)和校準(zhǔn)通道的要求。

A.2.5       儀器或采樣探頭的位置、形式、朝向。

A.2.6       為探測偏離事件進(jìn)行測量或采樣的頻度。

A.2.7       對(duì)可能影響監(jiān)測系統(tǒng)或所得結(jié)果方面的考慮,其中至少包括溫度、濕度、清潔步驟和清潔劑、熏   蒸劑、產(chǎn)品材料或工藝危險(xiǎn)、熱表面可能產(chǎn)生的對(duì)流空氣的來源等。

A.2.8       采樣系統(tǒng)對(duì)工藝或工藝環(huán)境可能產(chǎn)生的不利影響方面的考慮(例如,在小型密閉環(huán)境中粒子計(jì)數(shù)器抽取采樣空氣的流量可能產(chǎn)生的效果)。

A.2.9       “發(fā)煙測試”、計(jì)算機(jī)氣流模擬等氣流可視化研究的結(jié)果。

A.2.10     了解潔凈室或潔凈區(qū)中通風(fēng)的效果,因其可能受到如換氣次數(shù)、對(duì)自凈時(shí)間或清潔時(shí)間的研究   或?qū)諝庵辛Ｗ尤コ实难芯康鹊挠绊憽?/span>

A.2.11     在清潔工作進(jìn)行過程中及在清潔工作剛剛完成后,清潔工作或維護(hù)工作的范圍及(或)頻度對(duì)空氣中粒子水平的影響。

A.2.12     與工藝有關(guān)的、可能在監(jiān)測位置處影響環(huán)境條件的事件。這類事件至少包括生產(chǎn)過程或維護(hù)工作對(duì)設(shè)備的拆卸、清潔和組裝。

注:將上述設(shè)備重新裝配完成后、尚未恢復(fù)正常運(yùn)行時(shí)對(duì)自凈時(shí)間的監(jiān)測包含在監(jiān)測計(jì)劃中,可能是有益的。

A.2.13     關(guān)鍵運(yùn)行期間人員通常的位置與活動(dòng)。

A.2.14     對(duì)潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)活動(dòng)的人員數(shù)量的預(yù)期,對(duì)他們工作特性與活動(dòng)時(shí)長的預(yù)期。

A.2.15     評(píng)估設(shè)備使氣流模式發(fā)生變化所造成的影響。

A.2.16     評(píng)估由設(shè)備形成的粒子源的可能。例如運(yùn)動(dòng)傳輸系統(tǒng)表面磨損產(chǎn)生的粒子,還有安瓿瓶密封  與射頻管道焊接等工藝產(chǎn)生的粒子。

A.2.17     包括數(shù)據(jù)完整性、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)檢索在內(nèi)的數(shù)據(jù)記錄和數(shù)據(jù)管理。

注:有些工業(yè)數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)和完整性是專門管制的。

A.2.18     為原始數(shù)據(jù)評(píng)估、趨勢評(píng)定、生產(chǎn)報(bào)告等制定合適的方法。

A.2.19     驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)的定義以及設(shè)定單一報(bào)警值,還是既設(shè)定預(yù)警值也設(shè)定干預(yù)值。

A.2.20     監(jiān)測系統(tǒng)調(diào)試與測試要求。 

A.2.21     監(jiān)測系統(tǒng)的維護(hù)要求。

A.3  壓差監(jiān)測

A.3.1       規(guī)定潔凈室或潔凈區(qū)壓差監(jiān)測系統(tǒng)時(shí),A.3.2~A.3.5中所述的各個(gè)方面宜予以考慮。

A.3.2       開門或局部排風(fēng)系統(tǒng)間歇運(yùn)行等形成了波動(dòng),使這些波動(dòng)降至盡可能低或使之受控的方法。通常的方法是使用延時(shí)報(bào)警。

A.3.3       選擇壓力測量基準(zhǔn)值(測量房間或空間之間的壓差,或測量與共用基準(zhǔn)壓力的壓差)。

A.3.4       設(shè)定對(duì)正常壓力波動(dòng)反應(yīng)靈敏的預(yù)警值和干預(yù)值,這類波動(dòng)來自建筑風(fēng)壓、門的開關(guān)等。

A.3.5       進(jìn)行壓差監(jiān)測既可采用定期觀測,也可采用自動(dòng)化儀表。

A.4  空氣粒子監(jiān)測系統(tǒng) 

A.4.1       規(guī)定實(shí)時(shí)空氣粒子計(jì)數(shù)系統(tǒng)時(shí),宜考慮 A.4.2~A.4.6中所述的各個(gè)方面。

A.4.2       依據(jù)對(duì)下列系統(tǒng)因素的評(píng)估決定系統(tǒng)配置:

空氣粒子采集效率;

所選監(jiān)測粒徑的適用性;

維護(hù)、校準(zhǔn)、修理的難易度。

注1:上述因素將影響計(jì)數(shù)器布置,是在多個(gè)“采樣點(diǎn)”分別布置粒子計(jì)數(shù)器,還是使用單臺(tái)粒子計(jì)數(shù)器配以長采樣管的多管采集系統(tǒng)。

注2:長采樣管不適于監(jiān)測粒徑≥5μm 的粒子。

A.4.3       采樣流量和空氣量。

A.4.4       每個(gè)空氣樣本的采集頻度和時(shí)長(由采樣量決定)。

A.4.5       采樣探頭形式與朝向(如等動(dòng)力或非等動(dòng)力采樣)。

注:將采樣探頭直接置于非單流潔凈室的末端高效過濾器送風(fēng)之下,可能是不合適的。因?yàn)檫@樣的位置對(duì)潔凈室或潔凈區(qū)可能沒有代表性,并可能無法探測到動(dòng)態(tài)的污染事件。

A.4.6       采樣系統(tǒng)對(duì)工藝或工藝環(huán)境可能的不利影響(例如:在小體積環(huán)境中,采樣量可能帶來的影響)。

A.5  風(fēng)速與風(fēng)量監(jiān)測

A.5.1       規(guī)定風(fēng)速或風(fēng)量的監(jiān)測系統(tǒng),宜考慮 A.5.2和 A.5.3所述內(nèi)容。 

A.5.2       所選定的風(fēng)速或風(fēng)量的測量方法。

A.5.3       測量裝置的位置,測量值對(duì)被測系統(tǒng)要有代表性。

注:可能有必要對(duì)位置進(jìn)行評(píng)估,以證明測量值具有代表性,沒有受到紊流、風(fēng)管中不均勻流或其他因素等的不良影響。

附    錄   B (資料性) 設(shè)定預(yù)警值和干預(yù)值的考慮事項(xiàng)

B.1  設(shè)定預(yù)警值和干預(yù)值基本知識(shí)

設(shè)定預(yù)警值和干預(yù)值需慎重考慮,以確保它們能作為啟動(dòng)應(yīng)對(duì)措施的有效依據(jù)。這類應(yīng)對(duì)措施包   括更深入的調(diào)查或加強(qiáng)觀測(被稱為“預(yù)警值”),以及觸發(fā)補(bǔ)救措施(被稱為“干預(yù)值”)等。下列事項(xiàng)宜  予以考慮:

監(jiān)測的意圖和目的;

監(jiān)測參數(shù)的重要性和(或)關(guān)鍵度;

僅設(shè)干預(yù)值,還是既設(shè)預(yù)警值也設(shè)干預(yù)值;

因報(bào)警頻度高而對(duì)“預(yù)警”或“干預(yù)”沒有反應(yīng)的風(fēng)險(xiǎn),報(bào)警值設(shè)定不當(dāng)就可能發(fā)生這樣的事情,并使人員不采取行動(dòng)或忽視報(bào)警;

對(duì)監(jiān)測參數(shù)合理的正常波動(dòng)如何管控?   例如,時(shí)延的合理性及換氣次數(shù)預(yù)估系統(tǒng)的算法;

采樣或測量的頻度,從而能夠評(píng)定下個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)獲取數(shù)據(jù)的速率;

對(duì)“預(yù)警”作出反應(yīng)時(shí),反應(yīng)的能力,反應(yīng)性質(zhì),將反應(yīng)提升至“干預(yù)”前所允許的反應(yīng)時(shí)間。

B.2  設(shè)定壓差監(jiān)測預(yù)警值和干預(yù)值

B.2.1       設(shè)定壓差的正常范圍 

為了設(shè)定壓差的預(yù)警值和干預(yù)值,應(yīng)設(shè)定其正常工作范圍,包括開門和設(shè)備相互作用等引起的波動(dòng)。脫離正常工作范圍的偏離設(shè)置,既可單設(shè)數(shù)值上的偏離,也可設(shè)定數(shù)值上及時(shí)間上的偏離。

因設(shè)施性能的變化及設(shè)施部件的老化,最初所做的檢測宜定期重檢,在潔凈室或潔凈區(qū)的維護(hù)或改造后也進(jìn)行重檢。

宜采用B.2.1.1和B.2.1.2所給出的方法探測壓力波動(dòng)并將其記錄在案。

B.2.1.1    氣閘室門開關(guān)的影響

設(shè)計(jì)氣閘室是為了幫助人員或材料從某潔凈室或潔凈區(qū)運(yùn)行至另一個(gè)潔凈室或潔凈區(qū)過程中維持壓差。氣閘室的設(shè)計(jì)或運(yùn)行使門不能同時(shí)開啟。當(dāng)門有一扇開著時(shí),氣閘室的泄漏一般比兩扇門都關(guān)   閉時(shí)要大,除非門配有充氣裝置或密封裝置。

對(duì)這些正常變化應(yīng)進(jìn)行測試并記錄在案,以便合理地設(shè)定壓力預(yù)警值和壓力干預(yù)值,并遵循這些步驟。

關(guān)閉所有的房門和傳遞窗,規(guī)定所有設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài),觀測所選房間或區(qū)域之間的穩(wěn)態(tài)壓差,注意風(fēng)及其他動(dòng)態(tài)效應(yīng)會(huì)導(dǎo)致的正常小波動(dòng)。

一次將氣閘室、傳遞窗、緩沖室同一側(cè)所有的門同時(shí)開啟,并注意室壓或區(qū)域壓力的變化。關(guān)閉各扇門,確認(rèn)壓差回歸原位。

潔凈室的設(shè)計(jì)宜考慮門周邊等泄漏途徑,以確保風(fēng)量平衡對(duì)這些泄漏留有充分的容差。

B.2.1.2    工藝設(shè)備的影響

有些工藝設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)不同時(shí),空氣損耗也會(huì)不同,從而對(duì)房間潔凈室或潔凈區(qū)產(chǎn)生小的、可接受的影響。遵循下列步驟。

將所有的門及傳遞窗關(guān)閉,將設(shè)備置于規(guī)定的運(yùn)行狀態(tài),觀測所選房間或區(qū)域之間的穩(wěn)態(tài)壓差。注意因風(fēng)及其他動(dòng)態(tài)效應(yīng)會(huì)導(dǎo)致的正常小波動(dòng)。

按設(shè)備每種不同的運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行重復(fù)測試。觀測每種狀態(tài)下所選房間或區(qū)域之間穩(wěn)態(tài)時(shí)的壓差,注意因風(fēng)或其他動(dòng)態(tài)效應(yīng)會(huì)導(dǎo)致的正常小波動(dòng)。

B.2.2       設(shè)定預(yù)警值和干預(yù)值

B.2.2.1    建議在觀測并記錄下正常運(yùn)行范圍后,將正壓室的壓力報(bào)警裝置設(shè)置為比實(shí)測最低壓力值低幾帕,將負(fù)壓室設(shè)置為比最低壓力值高幾帕(指導(dǎo)數(shù)值2Pa~3Pa)。

B.2.2.2    為了不影響潔凈室內(nèi)的正常工作,宜常將預(yù)警或干預(yù)延后,以應(yīng)對(duì)人員出入的開門等情況。

為確定合適的延遲時(shí)間宜認(rèn)真觀測普通的或預(yù)期的偏離正常狀態(tài)持續(xù)的時(shí)間長度。超出正常時(shí)長的延 遲宜激活報(bào)警器。

B.2.2.3    不宜用增加壓差的簡單方式處理過大的壓力波動(dòng)或泄漏,因?yàn)榭照{(diào)或通風(fēng)系統(tǒng)的性能在效率   上的下降,將進(jìn)一步增加空氣泄漏。

B.2.2.4    在受監(jiān)管的產(chǎn)業(yè)中,對(duì)問題的根源要進(jìn)行識(shí)別并找到原因,而不能用改變運(yùn)行限值來包蓋這些問題。未識(shí)別出根源就可能導(dǎo)致嚴(yán)厲的監(jiān)管行動(dòng)。

B.2.3       壓差測量儀

B.2.3.1    使用壓差開關(guān)時(shí),確保壓差開關(guān)的動(dòng)作是可重復(fù)的,并且任何開關(guān)轉(zhuǎn)換都源自于所設(shè)置的預(yù)警值或干預(yù)值,且包含在預(yù)警值和干預(yù)值中。

B.2.3.2    為簡化校準(zhǔn)工作,無需將儀器從設(shè)施上移除,特別是那些安裝在不易接近區(qū)域中的儀器。宜在儀器上配置測試口,制定將儀器與壓力源隔絕的方法,從而能夠測定其零位及量程。

B.3  設(shè)定空氣中粒子計(jì)數(shù)的預(yù)警值與干預(yù)值

B.3.1       通用指南

B.3.1.1    對(duì)運(yùn)行中潔凈室或潔凈區(qū)粒子濃度進(jìn)行監(jiān)測計(jì)數(shù)的目的是,為各關(guān)鍵控制點(diǎn)達(dá)到所需的潔凈度水平提供證據(jù)。宜進(jìn)行風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估并按 GB/T25915.1—2021對(duì)潔凈室或潔凈區(qū)進(jìn)行正常分級(jí)的數(shù)據(jù)進(jìn)行評(píng)估,以確定監(jiān)測位置(關(guān)鍵控制點(diǎn))。設(shè)定的預(yù)警值和干預(yù)值,宜能提供有效信息用于管控性能上的變化,并識(shí)別出與規(guī)定的合格標(biāo)準(zhǔn)值的偏離。

注:可根據(jù)對(duì)歷史數(shù)據(jù)的分析,使用統(tǒng)計(jì)過程控制原理來設(shè)置預(yù)警值和干預(yù)值。

B.3.1.2    宜制定合適的方法,當(dāng)粒子計(jì)數(shù)值達(dá)到預(yù)警值或干預(yù)值時(shí)給出通知或指示。

B.3.1.3    設(shè)定預(yù)警值或干預(yù)值時(shí),重要的是對(duì)不同位置上的空氣粒子濃度以及空氣中粒子濃度隨時(shí)間的變化度具有靈敏性。對(duì)于粒子濃度低的ISO5級(jí)及更好的潔凈度,考慮預(yù)警值和干預(yù)值時(shí)要特別小心。在這樣的環(huán)境中,更有可能發(fā)生由于粒子濃度的虛假計(jì)數(shù)和(或)自然變動(dòng)產(chǎn)生“騷擾報(bào)警”。宜小心謹(jǐn)慎地選擇預(yù)警值和干預(yù)值以避免這種情況。宜防止頻繁發(fā)生 “騷擾報(bào)警”,因?yàn)檫@可使用戶對(duì)報(bào)警熟視無睹。

B.3.1.4    具體采樣位置及采樣探頭朝向的前后一致性,可對(duì)所測得的粒子濃度有顯著影響。當(dāng)要對(duì)某個(gè)采樣時(shí)間段的值與下個(gè)時(shí)間段的值進(jìn)行比較時(shí),尤其如此。重要的是,在沒有及時(shí)考慮以往趨勢及預(yù)警值和干預(yù)值的情況下,不使采樣位置有顯著改變。

B.3.2       設(shè)定粒子計(jì)數(shù)的正常范圍 

B.3.2.1    在一段不算短的時(shí)間段中,在靜態(tài)和動(dòng)態(tài)兩種狀態(tài)下,在指定的關(guān)鍵控制點(diǎn),對(duì)粒子濃度進(jìn)行初始測量并記錄。宜使用規(guī)定的采樣時(shí)間和采樣量。以這組數(shù)據(jù)就可確定所預(yù)期的潔凈室或潔凈區(qū)的正常性能,并將其作為設(shè)定預(yù)警值和干預(yù)值的依據(jù)。預(yù)計(jì)這些正常值將低于ISO 潔凈度級(jí)別限值或低于干預(yù)值。

B.3.2.2    當(dāng)設(shè)施在設(shè)計(jì)或運(yùn)行上有重大改變時(shí),后續(xù)時(shí)間段的觀測可能是必需的。

B.3.2.3    粒子計(jì)數(shù)數(shù)據(jù)有些獨(dú)特特性宜予理解。下列各點(diǎn)具有重要性:

一個(gè)空間粒子的基準(zhǔn)濃度,與潔凈室或潔凈區(qū)的活動(dòng)水平、容積以及通風(fēng)機(jī)理和有效性,有很高的關(guān)聯(lián)性;

對(duì)一直低于預(yù)期值的粒子計(jì)數(shù)讀數(shù)進(jìn)行檢查是種好的作法,因?yàn)檫@可能說明粒子計(jì)數(shù)器、空氣   采樣系統(tǒng)、數(shù)據(jù)錄入儀器等有故障;

靜態(tài)時(shí)的非單向流系統(tǒng)粒子濃度合格范圍可能顯著低于動(dòng)態(tài)時(shí)的;

在同一個(gè)房間或區(qū)域內(nèi),不同采樣點(diǎn)的報(bào)警值可能要不同;

房間里正常的活動(dòng)可能使粒子計(jì)數(shù)產(chǎn)生瞬間但可接受的升高。

B.3.2.4    為確保高質(zhì)量的粒子監(jiān)測數(shù)據(jù),并有助于與后續(xù)空氣樣本數(shù)據(jù)的比較,有必要使采樣位置及探頭朝向保持一致。實(shí)際采樣位置以及采樣探頭朝向的一貫性,對(duì)數(shù)據(jù)質(zhì)量有顯著影響。采樣位置或 朝向的改變,對(duì)以往趨勢、預(yù)警值和干預(yù)值,都有不利影響。當(dāng)潔凈室或潔凈區(qū)經(jīng)由相互毗鄰的高效或超高效過濾器送風(fēng)時(shí),就會(huì)發(fā)生這樣的情況。在這種情況下,僅將采樣位置移動(dòng)如0.5 m 這樣短的距離,就可能采集到來自另一個(gè)過濾器的空氣。兩個(gè)樣本的潔凈度數(shù)據(jù)就無法進(jìn)行比較。大多數(shù)情況下,當(dāng)設(shè)立新位置時(shí),宜考慮采樣頭的重新定位,以及由此產(chǎn)生的新的系列觀測值來確定合適的預(yù)警值和干預(yù)值。

B.3.3       設(shè)定粒子計(jì)數(shù)的預(yù)警值和干預(yù)值

B.3.3.1    設(shè)定預(yù)警值、干預(yù)值時(shí),B.3.3.2~B.3.3.8所述的原理是重要的。

B.3.3.2    設(shè)定報(bào)警值時(shí),僅設(shè)干預(yù)值,或是設(shè)置預(yù)警值和干預(yù)值兩個(gè)值。在有些產(chǎn)業(yè)或場合,采用兩個(gè)報(bào)警值(稱為預(yù)警和干預(yù))作為質(zhì)量控制方法和應(yīng)對(duì)策略。

B.3.3.3    將預(yù)警值或干預(yù)值設(shè)置在正常工作范圍與潔凈度等級(jí)限值之間。

B.3.3.4    重要的是正確地設(shè)置報(bào)警值,以確保發(fā)生的報(bào)警事件,更可能促成糾正措施的采取,而不是產(chǎn)生虛假警示或“騷擾報(bào)警”,否則往往會(huì)使工作人員對(duì)報(bào)警熟視無睹。

B.3.3.5    大多數(shù)情況下,設(shè)定新位置時(shí)宜考慮采樣探頭有明確的重新定位,由此會(huì)產(chǎn)生一系列新的觀測值,并由此確定新位置適當(dāng)?shù)恼９ぷ鞣秶?預(yù)警值與干預(yù)值。

B.3.3.6    如果確定某具體位置的數(shù)據(jù)組的趨勢是需要了解的重要事項(xiàng),應(yīng)小心保證每個(gè)采樣具有近似的活動(dòng)強(qiáng)度背景。房間或區(qū)域中活動(dòng)度低或無活動(dòng)的安靜時(shí)段獲取的數(shù)據(jù),一般比有較多活動(dòng)和(或) 有更多人員的時(shí)間段,有不一樣的數(shù)值基準(zhǔn)線和數(shù)值范圍。

B.3.3.7    采樣時(shí)長需要從所允許的風(fēng)險(xiǎn)水平考慮。采樣時(shí)長設(shè)置得較長,雖可使數(shù)據(jù)平穩(wěn),并能防止可能的“騷擾報(bào)警”,但這可能掩蓋不尋常產(chǎn)塵事件所造成的空氣粒子濃度短時(shí)間超標(biāo)升高。

B.3.3.8    宜對(duì)監(jiān)測系統(tǒng)的性能、所采集的數(shù)據(jù)、設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)值和趨勢等定期進(jìn)行分析。宜根據(jù)其性能狀況,考慮對(duì)預(yù)警值和干預(yù)值的修改(放寬或收緊)。

B.3.4       設(shè)定粒子計(jì)數(shù)報(bào)警值的其他方法

B.3.4.1    如果同時(shí)監(jiān)測兩個(gè)粒徑,且采樣間隔時(shí)間為1 min,設(shè)置預(yù)警值和干預(yù)值就較為繁復(fù)。B.3.4.2和B.3.4.3給出了兩種方法。

B.3.4.2    方法1:以一系列較高的連續(xù)讀數(shù)觸發(fā)閾值。較高讀數(shù)觸發(fā)報(bào)警所依據(jù)的是,在一段時(shí)間里讀數(shù)一直維持在較高的水平(例如,連續(xù)3個(gè)1 min的讀數(shù)超過規(guī)定值)。

B.3.4.3    方法2:由高頻度出現(xiàn)的高讀數(shù)觸發(fā)閾值,這一方法有時(shí)稱為“y中的x”。該方法是將高于規(guī)定閾值的讀數(shù)記錄下來,如果一系列數(shù)據(jù)中高于規(guī)定值的讀數(shù)較多時(shí),則觸發(fā)預(yù)警或干預(yù)。例如,若最后10個(gè)讀數(shù)中有3個(gè)高于閾值,則會(huì)觸發(fā)預(yù)警或干預(yù)。

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